Sáp nhập từ các đơn vị hành chính:
Phương Canh, phường Xuân Phương, một phần phường Đại Mỗ và phường Tây Mỗ, một phần xã Vân Canh, phần còn lại của phường Minh Khai (quận Bắc Từ Liêm) và phần còn lại của phường Phúc Diễn
Nơi đặt trụ sở Phường Xuân Phương
Số 28 đường Foresa 4B, KĐT Xuân Phương, phường Xuân Phương