Sáp nhập từ các đơn vị hành chính:
Hạ Mỗ, xã Tân Hội, một phần các xã Liên Hà (huyện Đan Phượng), Hồng Hà, Liên Hồng, Liên Trung, một phần xã Văn Khê, phần còn lại của phường Tây Tựu và phần còn lại của xã Tân Lập
Nơi đặt trụ sở Xã Ô Diên
Số 3, đường Phan Xích, xã Ô Diên