Sáp nhập từ các đơn vị hành chính:
Phùng Xá (huyện Thạch Thất), Hương Ngải, Lam Sơn, Thạch Xá, một phần xã Quang Trung, một phần d thị trấn Quốc Oai, xã Ngọc Liệp và xã Phượng Sơn
Nơi đặt trụ sở Xã Tây Phương
Thôn Yên, xã Tây Phương
Sáp nhập từ các đơn vị hành chính:
Phùng Xá (huyện Thạch Thất), Hương Ngải, Lam Sơn, Thạch Xá, một phần xã Quang Trung, một phần d thị trấn Quốc Oai, xã Ngọc Liệp và xã Phượng Sơn
Nơi đặt trụ sở Xã Tây Phương
Thôn Yên, xã Tây Phương